在电子显微镜的发明过程中首先有所突破并最终取得非凡成就的人是德国的鲁斯卡。1931年，鲁斯卡利用光学显微镜的原理，用能够发射出稳定的冷阴极光源的电子源和电子透镜制作了世界上第一台电子显微镜，由于电子的波长要比光波小很多，所以电子显微镜的分辨率比光学显微镜提高了很多。一年之后，在鲁斯卡的努力下，电子显微镜的分辨率从起初的12倍提升到了1万倍，即分辨能力达到了50纳米，之后，光学显微镜开始受到人们的关注。鲁斯卡因这一项发明而受到了西门子公司的垂青，并与1937年应邀建立了超显微镜学实验室，两年之后，西门子投入生产了世界上最早的实用电子显微镜。
20世纪80年代，电子显微镜技术有了新的突破，德国宾尼格和瑞士学者罗雷尔研制出了具有3亿倍分辨率的扫描隧道显微镜。人类观察到的事物图更加地逼真，立体感也进一步加强，推动了很多行业的进步。
电子显微镜的出现，为人类提供了一双能洞察万物结构的眼睛，为21世纪科学技术的飞速发展奠定了基础。医学、物理学和生物学是其中最大的受益者，各种新型的材料（如纳米材料）频频地被发现，各种疑难杂症在先进的医学技术面前不攻而破（利用电子显微镜发现了肝炎病毒），而对于生物学而言，电子显微镜的最大功绩莫过于帮助人类看清了神经组织的结构级病毒对神经的侵害过程。电子计算机进入人们的日常生活之后，电子显微镜又被利用来观察检查计算机芯片制造过程中的焊接裂缝。
即使电子显微镜现在已经成为了人类科学技术进步的好帮手，但是它本身也存在一定的问题（分辨率已经达到了极限），随着科学的不断进步，一种比它更先进的显微镜的出现是必然的。
【恩斯特?鲁斯卡】
恩斯特?鲁斯卡（1906—1988年），出身于有极深文学修养的家庭，父亲是德国东方学家、科学历史学家和教育家尤利乌斯?鲁斯卡。上大学时，鲁斯卡选择了电子学专业，并因论文《关于电子显微镜的磁性镜头》获得了博士学位。他在1931年发明了电子显微镜后，又发明了能够批量生产的“西门子-超显微镜”，并为之能够在各个领域推广使用而进行了努力，相应地发表了200篇电子显微镜在各个行业使用可行性研究的文章。
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